日時
2025年2月14日（金）10:00-15:00
開催方式
オンライン＋現地開催
オンライン：Zoom
場所：大阪大学 産業科学研究所 S308セミナー室 N415クリーンルーム
主催
大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点
共催
株式会社エリオニクス
定員
オンライン：100名、現地開催：6名
※定員となり次第締め切り
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム https://forms.office.com/Pages/ResponsePage.aspx?id=4I7Qo5BbM0-dFJYCO7eKYhz8y1yntDdKqGhCNfpmA3RUNDdVR0FPVkhURDJMNVJSWVJTNVJJMkcyQi4u
申込締切：2月12日（水）
詳細
装置メーカーによる技術セミナーを開催いたします。
最先端の自動搬送型超高精細電子ビーム描画装置の構成や実際に用いた微細加工の原理と考え方、露光条件の検討手法についてご紹介いたします。
前半部分の『描画装置の基礎講座』はオンライン参加も可能です。
【プログラム】
10:00-10:05 はじめに 大阪大学 産業科学研究所 谷口 正輝
10:05-11:30 『描画装置の基礎講座』 株式会社エリオニクス 永井 佐利
13:00-15:00 『実機演習＆質疑応答』 株式会社エリオニクス 永井 佐利
お問い合わせ
大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）事務局
E-mail：info-nanoplat(at)sanken.osaka-u.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。
ホームページ
[URL] https://nanoplatform.osaka-u.ac.jp/posts/activity17.html
※最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。
