日時
2024年8月21日（水）9:30-18:00
2024年8月22日（木）9:00-17:40
2024年8月23日（金）9:00-16:40
※交流会 8月22日（木）18:00-19:30
場所
東北大学環境科学研究科 本館 2階 大講義室（仙台市青葉区荒巻字青葉468-1）
※開催方法：現地開催＆オンライン（ハイブリッド）
主催
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
MEMSパークコンソーシアム
共催
東北大学ナノテク融合技術支援センター
東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
定員
特に無し
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/5rVWG8HJrNumxUfw6
申込締切：当日まで可（見学準備等のためできれば早めにお申し込みください）
概要
講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。参加費は無料です。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用ください。2日目の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と仙台でお会いできることを楽しみにしております。
詳細
【講師】（五十音順）小野 崇人、金森 義明、鈴木 裕輝夫、田中 秀治、塚本 貴城、
戸津 健太郎、芳賀 洋一、日暮 栄治、矢代 航
【プログラム】
8月20日（火）
14:00-17:00 西澤センター見学（講義前日にご希望の方は見学が行えます）
8月21日（水）
9:00 受付開始
9:30-12:00 マイクロマシニング1（概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜）［戸津 健太郎（東北大学）］
13:00-16:00 マイクロマシニング2（接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境）
［戸津 健太郎（東北大学）］
16:10-18:00 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術［鈴木 裕輝夫（東北大学）］
8月22日（木）
8:30 受付開始
9:00-10:30 IT・通信・自動車応用（圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、
マイクロミラーデバイス）［田中 秀治（東北大学）］
10:40-12:10 MEMSの新しい話題［田中 秀治（東北大学）］
13:00-15:00 加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ［塚本 貴城（東北大学）］
15:10-16:00 6G・ロボティックス応用に向けたメタマテリアル［金森 義明（東北大学）］
15:10-17:40 MEMS技術の量子ビーム光学素子への応用と3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuでの活用例
［矢代 航（東北大学）］
18:00-19:30 交流会（参加費 4,500円、会場 Buddy's Table）
8月23日（金）
8:30 受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス［小野 崇人（東北大学）］
13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用［日暮 栄治（東北大学）］
15:10-16:40 医療・ヘルスケア（健康管理）応用［芳賀 洋一（東北大学）］
【講義資料】
冊子は配布せず、準備が整い次第、ホームページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
お問い合わせ
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
TEL（代表電話）：022-229-4113
齋藤 哲郎 E-mail：t-saitoh(at)tohoku.ac.jp
小林 みゆき E-mail：miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。
ホームページ
[URL] http://www.memspc.jp/openseminar/opense91.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。