日時

2023年3月24日（金）13:00-17:30

開催方法

オンライン（Zoom）

主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

定員

特に無し（事前登録制）

参加費

無料

参加申し込み

Webフォーム　https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA
※申込締切：当日まで可

概要

オープンな研究会ですので、どなたでも参加いただけます。
今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。

プログラム

13:00-13:40　関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13:40-14:20　渡邉 陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」
14:20-15:00　花城 秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」

-休　憩-

15:10-15:50　平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15:50-16:30　竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16:30-17:10　佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17:10-17:30　戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」

お問い合わせ

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子
電話番号：022-305-2351
E-mail: rumiko.shoji.a8(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。

ホームページ
[URL] http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。