概要

物質・材料研究機構、産業技術総合研究所、東京工業大学、北海道大学は、令和3年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の一環として、オンラインによる技術セミナー『電子ビーム・レーザー描画技術～グレースケール露光による3次元構造物の作製～』を2023年1月25日（水）に開催いたします。電子ビーム・レーザーリソグラフィの基本概念や近接効果補正による描画データ最適化の講演に加え、3次元構造物の作製事例についてもご紹介いたします。産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしております。
また、本セミナーではエリオニクス社製の電子ビーム描画装置（ELS-BODEN100）やハイデルベルグ・インストルメンツ 社製のレーザー描画装置（DWL66+）を使ったリソグラフィー実習コースをご用意致しました。オンラインセミナーへの参加が条件となりますが、実習コースについてもご参加をお待ちしております。

お問い合わせ

第2回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー事務局
E-mail: NIF-office(at)nims.go.jp
※(at)を@に書き換えてください。

詳細は、イベントWebサイトでご確認ください。
[URL] https://www.tia-kyoyo.jp/npf/seminar/2022-2/