日時

2022年8月8日（月）～10日（水）　9時～17時

場所

8日、9日：かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）
10日：香川大学 林町キャンパス　創造工学部3101教室（3号館1階）

主催

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター

定員

120名

参加費

無料（懇親会は有料）

参加申し込み

Webフォーム　https://forms.gle/Xmf2n85HcC88e8YK7
（1次締切） 7月8日（金）※1次締切後もお申し込みを受け付けます。

概要

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに重要技術領域「高度デバイス」に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。

プログラム

受付開始は3日とも8:30

• 8月8日（月）場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
  9:00-12:00　マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]
  13:00-15:00　マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎(東北大)]
  15:10-16:40　集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用 [鈴木裕輝夫(東北大)]　
  16:40-17:40　香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開[高尾英邦(香川大)]
• 8月9日（火）場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
  9:00-10:30　IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
  10:40-12:00　MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
  13:00-14:30　MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大)]　
  14:40-15:30　Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]
  15:30-16:20　MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大)]
  16:30-17:30　香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション[寺尾京平(香川大)]
  18:00-20:00　懇親会　※コロナ感染防止対策を徹底してぜひ開催したいと考えていますが、状況によっては中止させていただく場合もあります。
• 8月10日（水）場所：香川大学 創造工学部3101教室（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
  9:00-12:30　製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
  13:30-15:00　医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]
  15:10-16:00　香川大学研究紹介：農業センサプラットフォ－ムの実現に向けたMEMS型維管束センサの開発 [下川房男(香川大)]
  16:00-17:00　香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団)　微細加工施設見学
  　　　　　　　※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定です。"

お問い合わせ

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎　E-mail：t-saitoh(at)tohoku.jp　※(at)を＠に書き換えてください。
Tel. 022-229-4113

ホームページ
[URL]http://www.memspc.jp/openseminar/opense83.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。