日時
2022年8月8日（月）～10日（水） 9時～17時
場所
8日、9日：かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）
10日：香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室（3号館1階）
主催
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター
定員
120名
参加費
無料（懇親会は有料）
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/Xmf2n85HcC88e8YK7
（1次締切） 7月8日（金）※1次締切後もお申し込みを受け付けます。
概要
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに重要技術領域「高度デバイス」に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。
プログラム
受付開始は3日とも8:30
- 8月8日（月）場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]
13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎(東北大)]
15:10-16:40 集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用 [鈴木裕輝夫(東北大)]
16:40-17:40 香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開[高尾英邦(香川大)] - 8月9日（火）場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
9:00-10:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
10:40-12:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
13:00-14:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大)]
14:40-15:30 Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]
15:30-16:20 MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大)]
16:30-17:30 香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション[寺尾京平(香川大)]
18:00-20:00 懇親会 ※コロナ感染防止対策を徹底してぜひ開催したいと考えていますが、状況によっては中止させていただく場合もあります。 - 8月10日（水）場所：香川大学 創造工学部3101教室（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
13:30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]
15:10-16:00 香川大学研究紹介：農業センサプラットフォ－ムの実現に向けたMEMS型維管束センサの開発 [下川房男(香川大)]
16:00-17:00 香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団) 微細加工施設見学
※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定です。"
お問い合わせ
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎 E-mail：t-saitoh(at)tohoku.jp ※(at)を＠に書き換えてください。
Tel. 022-229-4113
ホームページ
[URL]http://www.memspc.jp/openseminar/opense83.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。