【優秀技術賞】
「原子分解能STEM-EDSマッピングによる原子カラムの可視化」
熊本 明仁（微細構造解析PF 東京大学）

【技術支援貢献賞】
「電子線リソグラフィを用いたパターン形成技術支援」
岸村 由紀子（微細加工PF 山口大学）

「CMOS集積回路-MEMS試作支援」
安藤 秀幸，竹内 修三（微細加工PF 北九州産業学術推進機構）

【若手技術奨励賞】
「超高圧電子顕微鏡によるガス中その場観察の研究支援」
樋口 公孝（微細構造解析PF 名古屋大学）

nano tech 2018 展示ポスター

2018年2月14日 東京ビッグサイトで開催された第17回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2018）に於いて、ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成30年度「技術スタッフ表彰」の発表と表彰が行われた。

(1) 原子分解能STEM-EDSマッピングによる原子カラムの可視化
(2) 電子線リソグラフィを用いたパターン形成技術支援
(3) CMOS集積回路-MEMS試作支援
(4) 超高圧電子顕微鏡によるガス中その場観察の研究支援

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