【優秀技術賞】
「電子線照射に高敏感な材料の電子顕微鏡による構造観察および分析」
鳥山 誉亮（微細構造解析プラットフォーム 九州大学）

【技術支援貢献賞】
「高精度FIB加工技術を用いた微細構造観察」
中尾 知代（微細構造解析プラットフォーム 名古屋大学）

「プロセスソリューションを実現するドライエッチング技術」
大里 啓孝（微細加工プラットフォーム 物質・材料研究機構）

「透過型電子顕微鏡のための高度試料作製技術による支援業務」
押川 浩之（微細構造解析プラットフォーム 東京大学）

【若手技術奨励賞】
「シリコンのトータルソリューション」
佐藤 旦（微細加工プラットフォーム 広島大学）

nano tech 2019 展示ポスター

2019年1月30日 東京ビッグサイトで開催された第18回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2019）に於いて、ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成30年度「技術スタッフ表彰」の発表と表彰が行われた。

(1) 電子線照射に高敏感な材料の電子顕微鏡による構造観察および分析
(2) 高精度FIB加工技術を用いた微細構造観察
(3) プロセスソリューションを実現するドライエッチング技術
(4) 透過型電子顕微鏡のための高度試料作製技術による支援業務
(5) シリコンのトータルソリューション

※画像をクリックすると、展示ポスターPDFがダウンロードできます。

(1)

(2)

(3)

(4)

(5)

 

 

Webマガジン

※画像をクリックすると、Webマガジン記事PDFがダウンロードできます。

(1)

(2)

(3)

(4)

(5)