技術スタッフ表彰

平成26年度 技術スタッフ表彰

【技術支援者賞】
「シリコン深掘りエッチング(Deep RIE)における超精密形状制御」
森山 雅昭(東北大学ナノテク融合技術支援センター 試作コインランドリ)

 

発表と表彰

2015年1月30日 東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム(JAPAN NANO 2015)に於いて、ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成26年度「技術支援者賞」の発表と表彰が行われた。

 

Webマガジン

(1) シリコン深掘りエッチング(Deep RIE)における超精密形状制御

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平成26年度技術スタッフ表彰Webマガジン-1

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  • 2022年5月17日