日時
2023年3月24日（金）13:00-17:30
開催方法
オンライン（Zoom）
主催
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
定員
特に無し（事前登録制）
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA
※申込締切：当日まで可
概要
オープンな研究会ですので、どなたでも参加いただけます。
今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。
プログラム
13:00-13:40 関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13:40-14:20 渡邉 陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」
14:20-15:00 花城 秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」
-休 憩-
15:10-15:50 平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15:50-16:30 竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16:30-17:10 佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17:10-17:30 戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」
お問い合わせ
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子
電話番号：022-305-2351
E-mail: rumiko.shoji.a8(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。
ホームページ
[URL] http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。