日時
2023年8月8日（火）9:00-17:00
2023年8月9日（水）9:00-17:10
2023年8月10日（木）9:00-16:40
※懇親会 8月9日（水）17:30-19：00
場所
北九州産業学術推進機構（FAIS）会議場
※開催方法：現地開催＆オンライン（ハイブリッド）
主催
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）
定員
特に無し
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/A4PP42BCKYKXujcj6
申込締切：当日まで可（見学準備等のためできれば7月10日頃までにお申し込みください）
概要
講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。参加費は無料です。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用ください。2日目の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と北九州でお会いできることを楽しみにしております。
詳細
8月8日（火）
8:30 受付開始
9:00-12:00 マイクロマシニング1（概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜） [戸津健太郎（東北大）]
13:00-15:00 マイクロマシニング2（接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境） [戸津健太郎（東北大）]
15:10-17:00 北九州産業学術推進機構（FAIS）活動紹介、施設見学
8月9日（水）
9:00-10:30 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫（東北大）]
10:40-12:10 IT・通信・自動車応用（圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス） [田中秀治（東北大）]
13:00-14:30 MEMSの新しい話題 [田中秀治（東北大）]
14:40-15:30 カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル [金森義明（東北大）]
15:40-17:10 MEMS慣性センサ（加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ） [塚本貴城（東北大）]
17:30-19:00 交流会
8月10日（木）
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人（東北大）]
13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治（東北大）]
15:10-16:40 医療・ヘルスケア（健康管理）応用 [芳賀洋一（東北大）]
お問い合わせ
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎
E-mail: t-saitoh（at）tohoku.ac.jp ※(at)を@に書き換えてください。
電話番号（代表）：022-229-4113
ホームページ
[URL] http://www.memspc.jp/openseminar/opense87.html
最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。