【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.24】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22NM0112

利用課題名 / Title

コンビナトリアル薄膜による固体潤滑剤の創製

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

鈴木 熙透

所属名 / Affiliation

中央大学

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-503：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F1）
NM-504：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F2）

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

MoS2-Wコンビナトリアル薄膜のMoS2含有率100%, 90%の領域の薄膜断面観察を行った

実験 / Experimental

FIBで断面観察のためのリフトアウトを行い，TEMでその観察を行った

結果と考察 / Results and Discussion

MoS2単膜において，先行研究では薄膜の基板付近でMoS2の強い層状構造が確認されているが，コンビナトリアル薄膜のMoS2 100%部分においても強い層状構造が確認された．このことからコンビナトリアル薄膜は供試材として有効であり．それを用いたMoS2特性の推定は可能であることがわかった． また，MoS2 90%領域においての断面はMoS2の強い層状構造はなく，全体的に多結晶であることが示された

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1

図2

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件