【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22HK0066
利用課題名 / Title
半導体ガスセンサ材料のナノ構造観察
利用した実施機関 / Support Institute
北海道大学 / Hokkaido Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,電子分光,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
猪股 雄介
所属名 / Affiliation
熊本大学 先端科学研究部
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
半導体ガスセンサは貴金属担持や酸素欠陥の導入によって増感が期待される。本研究では収差補正STEM測定を用いて、半導体ガスセンサの高感度化に寄与するナノ構造観察をおこなった。
実験 / Experimental
液相合成手法を用いて白金を原子状に分散させたPt-ドープ酸化スズナノ結晶を調製した。X線光電子分光測定および収差補正STEM測定を用いて表面のキャラクタリゼーションをおこなった。
結果と考察 / Results and Discussion
X線光電子分光測定よりSn4+およびSn2+のピークが確認され、酸化スズが酸素欠陥により不定比状態となっていることが確認された。収差補正STEM測定からPtドープ酸化スズの表面局所構造を直接観測したところ、Pt原子近傍に酸素欠陥部位が確認された。このような局所サイトが酸化スズのセンサ特性向上に寄与していることが示唆された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件