X線光電子分光装置
| 設備ID | HK-201 |
|---|---|
| 分類 |
状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光
（XPS（硬X線を含む）） 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > その他 |
| 装置名称 | X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部フロンティア応用科学研究棟1-03(02) |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JPS-9200 |
| キーワード | 光電子分光 化学状態分析 デプスプロファイル測定 大気非曝露導入 |
| 仕様・特徴 | 標準X線源Mg/Alツインアノード モノクロX線源 エネルギー分解能:0.65eV（モノクロX線源） アルゴンイオンエッチング銃 分析径:30μmφ～3mmφ 最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm トランスファーベッセル 画面共有システムによる遠隔立ち会い |
