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X線光電子分光装置

設備ID HK-201
分類 分光・表面分析 > X線光電子分光
装置名称 X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope)
設置機関 北海道大学
設置場所 工学部フロンティア応用科学研究棟1-03(02)
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JPS-9200
キーワード 光電子分光
化学状態分析
デプスプロファイル測定
大気非曝露導入
仕様・特徴 標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
    X線光電子分光装置
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