【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0247
利用課題名 / Title
新規表面活性化接合の開発
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
高橋 知典
所属名 / Affiliation
日本ガイシ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
秦誠一,櫻井淳平
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では，長寿命かつ高効率な接合を実現する新形高速原子ビームガンを開発することを目指す．さらに，開発した新形ガンの性能評価を行うことで，更なる高性能化を達成する新形ガンの設計指針の決定を目指す．
実験 / Experimental
開発した新形FAB源（図１）の長時間使用後，基板の汚染状況を観察し，FAB源の疲労寿命の特性評価を行う．
結果と考察 / Results and Discussion
FAB源を連続使用中は基板の顕著な汚染は見られなかったが，装置を停止し冷却した後，再度稼働すると基板の汚染が顕著になった．
これは，冷却時の熱応力によって付着した炭素凝集体が剥離したためと思われる．
FAB源の使用について貴重な知見を得ることができた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 FAB source
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
なし．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件