【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23RO0002

利用課題名 / Title

マイクロ流体デバイス作製用モールドの作製

利用した実施機関 / Support Institute

広島大学 / Hiroshima Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

モールド,マイクロ流体デバイス,μTAS,ダイシング/ Dicing,流路デバイス/ Fluidec Device,分離・精製技術/ Separation/purification technology

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

飯塚 怜

所属名 / Affiliation

東京大学大学院理学系研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

船津 高志

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

水野 恭司,岡田 和志

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

RO-131：レイアウト設計ツール
RO-602：PDMS加工装置
RO-121：スピンコータ
RO-113： マスクレス露光装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

油中に分散した水滴（油中水滴）の変形能に基づくソーティングを実現するためのマイクロ流体デバイスの作製用モールドを作製した．

実験 / Experimental

スピンコータを用いてシリコンウエハ上にフォトレジスト (SU-8) を塗布した後，マスクレス露光装置により流路構造を複数描画した．現像後，流路構造単位でウエハを切断し，マイクロ流体デバイスの作製用のモールドとした．マイクロ流体デバイスは，モールドのパターンをPolydimethylsiloxane (PDMS) に転写し，カバーガラスと貼り合わせることで作製した．

結果と考察 / Results and Discussion

Fig. 1に，作製したモールドの写真を示す．このモールドを用いて，油中水滴をソーティングするためのマイクロ流体デバイスを作製し，その動作が期待通りであることを確認した．今後，高分子分解酵素探索への応用が期待される．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 作製したモールドの写真

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

本研究は，JSPS科研費 基盤研究(C)（課題番号: 22K05310）の助成を受け，遂行された．

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件