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スピンコータ

    スピンコータ
    スピンコータ
機器ID RO-121
分類 成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど)
装置名称 スピンコータ (Spin Coater)
設置機関 広島大学
設置場所 CR西棟1F
メーカー名 タツモ(株) (TAZMO)
型番
キーワード 対応wafer:2inch、cut wafer
仕様・特徴 レジスト塗布
機関代表メールアドレス nanofab=ml.hiroshima-u.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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