【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NM0193

利用課題名 / Title

FIBによるTEM試料作製

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ハイエントロピー材料/ High entropy material

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

御手洗 容子

所属名 / Affiliation

東京大学　新領域創成科学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-509：デュアルビーム加工観察装置
NM-510：FIB加工装置（JIB-4000）
NM-513：ピックアップシステム
NM-503：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F1）
NM-504：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F2）

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ハイエントロピー合金の微細組織観察のために、TEM観察用試料をFIBにより採取する。

実験 / Experimental

あらかじめEBSDで結晶方位を調べた試料について、TEM観察に必要な結晶方位を有する結晶からFIB(JIB4000)により試料をピックアップした。ピックアップした試料をTEM(JEM-2100F)を用いて、200kVの加速電圧で観察した。

結果と考察 / Results and Discussion

ハイエントロピー合金について、TEM観察に必要な面が取得できるように、あらかじめEBSDで方位解析を行った試料について、FIB(JIB4000)を用いて薄膜を採取した。採取した薄膜をTEM(JEM-2100F)により観察を行なった。薄膜試料の大きさは、10x 5 micro mであり、観察範囲は5から7 micro mであることがわかった。今後、この試料を用いて、TEMによりハイエントロピー合金の微細組織を観察する。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件