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ピックアップシステム

設備ID	NM-513
分類	微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB）
装置名称	ピックアップシステム (Pick-up System)
設置機関	物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所	NIMS千現地区精密計測実験棟115号室
メーカー名
型番
キーワード	電子顕微鏡試料薄片操作
仕様・特徴	・大気中（FIB外）でガラスプローブを使ってTEMグリッド上へ固定