【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.12】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23TU0067

利用課題名 / Title

マイクロレンズアレイ加工

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,光デバイス/ Optical Device,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,光リソグラフィ/ Photolithgraphy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

井上 智晴

所属名 / Affiliation

株式会社イノックス

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-057：レーザ描画装置
TU-310：レーザ／白色共焦点顕微鏡
TU-060：現像ドラフト

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

本研究では、前年度に続いて、東北大学のレーザ描画装置を用いたグレースケール露光技術を用いたマイクロレンズアレイの試作加工を実施した。
加工条件の最適化の検討を行い、従来よりも高い精度でのマイクロレンズアレイの製造が可能となった。この技術により、微細なレンズの形状を正確に制御することができるようになった。

実験 / Experimental

青板ガラス上に積層されたフォトレジストを基にした基板を用いて、レーザ描画装置（DWL2000CE）を使用してグレースケール露光をおこなって。スロープ形状のテストパターンによる事前試験を実施し、補正プロファイルを作成した。
この補正プロファイルを用いて、所望のマイクロレンズアレイを得るためのグレースケール露光を実施した。現像後は、レーザー／白色共焦点顕微鏡（OPTELICS HYBRID LS-SD）で測定を行い、テストパターンやマイクロレンズアレイの形状の評価をおこなった。

結果と考察 / Results and Discussion

加工条件の最適による設計に対する精度を上げることが可能となった。
一方、得られたマイクロレンズアレイの特性評価では、階調によるとみられる不均一なプロファイルも確認されており、この問題の解消が今後の課題となる。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件