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現像ドラフト

設備ID TU-060
分類 リソグラフィ > レジスト処理装置
表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 現像ドラフト (Draft chamber for development)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 - (-)
型番 -
キーワード レジスト現像用のドラフトチャンバー
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
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