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レーザ描画装置

設備ID TU-057
分類 リソグラフィ > 光露光(マスクレス、直接描画)
装置名称 レーザ描画装置 (Laser writer)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
型番 DWL2000CE
キーワード マスク作製(Cr、エマルジョン)、直接描画、グレイスケール露光
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~9インチ
波長:405nm
最小描画線幅:0.7µm
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