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レーザ/白色共焦点顕微鏡

    レーザ/白色共焦点顕微鏡
    レーザ/白色共焦点顕微鏡
機器ID TU-310
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
光学顕微鏡 > その他
装置名称 レーザ/白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 レーザーテック (Lasertec)
型番 OPTELICS HYBRID LS-SD
キーワード 3次元表面形状測定、Deep RIEのエッチ深さ測定
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
レーザ光/白色の切替可能
共焦点/非共焦点の切替可能
自動ステージ付
機関代表メールアドレス office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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