【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NM0038
利用課題名 / Title
酸化金属粒子のバンドギャップ測定
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
シリコン基材料・デバイス,透過型電子顕微鏡,電子顕微鏡/Electron microscopy,高品質プロセス材料
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
吉野 晴彦
所属名 / Affiliation
AGC株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
長井拓郎
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NM-402：単原子分析電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
酸化金属粒子のバンドギャップを測定するため、NIMSの設備を用いてEELS分析を行った。
実験 / Experimental
粉末試料をTEM用グリッドに採取後、収差補正電子顕微鏡Titan Cubedを用いてEELS分析によりバンドギャップ測定を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
加速電圧80kVにおいてモノクロメータを作動させ、STEM-EELS法によるEELSスペクトルの計測を行った。図1に測定場所、図2にEELSスペクトルを示す。酸化金属粒子のバンドギャップは約2.8eV前後と見積もられた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 HAADF-STEM像
Fig.2 EELSスペクトル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件