【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.22】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22NM0014

利用課題名 / Title

半導体向け固体、液体材料の分析、精製

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

核磁気共鳴/Nuclear magnetic resonance,高品質プロセス材料/ High quality process materials

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

村瀬 圭一

所属名 / Affiliation

日本エア・リキード合同会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-001：NMR

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

未知濃度 の有機金属化合物の純度測定について¹H-NMRを用いて行った。

実験 / Experimental

未知濃度の有機金属化合物をNMR測定溶液として調製し、¹H-NMR測定を行った。得られたNMRスペクトルから化合物の純度を算出した。

結果と考察 / Results and Discussion

材料の特性から、他の分析方法ではできなかった化合物純度測定を、¹H-NMRを用いて算出することができた。また、反応性が非常に高い物質なので、分析結果の再現性が良くなかったが、使用する容器の乾燥不十分が原因の一つと考えられ、容器の乾燥条件を変えて、テストを行い、得られた結果から最適な乾燥条件を検討した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

付図

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件