【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NM0014
利用課題名 / Title
半導体向け固体、液体材料の分析、精製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
核磁気共鳴/Nuclear magnetic resonance,高品質プロセス材料/ High quality process materials
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
村瀬 圭一
所属名 / Affiliation
日本エア・リキード合同会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
未知濃度 の有機金属化合物の純度測定について1H-NMRを用いて行った。
実験 / Experimental
未知濃度の有機金属化合物をNMR測定溶液として調製し、1H-NMR測定を行った。得られたNMRスペクトルから化合物の純度を算出した。
結果と考察 / Results and Discussion
材料の特性から、他の分析方法ではできなかった化合物純度測定を、1H-NMRを用いて算出することができた。また、反応性が非常に高い物質なので、分析結果の再現性が良くなかったが、使用する容器の乾燥不十分が原因の一つと考えられ、容器の乾燥条件を変えて、テストを行い、得られた結果から最適な乾燥条件を検討した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
付図
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件