【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.09】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT1097
利用課題名 / Title
細線へのパリレン蒸着
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
エネルギー関連物質の熱移動特性のセンシング,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
田口 良広
所属名 / Affiliation
慶應義塾大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐藤 雅志
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
センサー用プローブであるPt細線に絶縁用のパリレンを等方的にコーティングすることを目的に、パリレン蒸着装置を利用した。本センサーはエネルギー関連物質の熱移動特性をセンシングするために用いる。
実験 / Experimental
パリレンコーターを用いて細線にパリレンを蒸着させた。
この装置を用いたパリレンCの蒸着方法は以下の手順で行った。
①熱分解室の温度を660℃に上昇させる。
②被膜材料を蒸着室内の試料台に置く。また原料であるパリレンCのダイマー粉末を原料気化室に入れる。
③外部のチラーで冷却させながら蒸着室内を真空引きする。
④ダイマー粉末は150℃で加熱砂礫化した後、660℃の熱分解室でモノマーガスとする。
⑤モノマーガスを被膜材料のおかれた蒸着室に導き，常温の被膜材料上で重合させ，成膜させる。
結果と考察 / Results and Discussion
蒸着室内に入れたダミーウエハの膜厚を触診段差法にて測定した際、被膜した部分と被膜されていない部分の差が3μｍであったため、細線にも同じような厚さのパリレンが蒸着していると考えられる。Fig.1にパリレン蒸着後の細線のSEM画像を示す。実験結果から、原料気化室に投入した約5gのパリレンCが完全にモノマーガスとなり、厚さ3μｍのパリレンが細線に蒸着したことが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 パリレン蒸着後の細線の断面像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件