【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.04.24】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22RO0021

利用課題名 / Title

Siナノワイヤバイオセンサーの作製

利用した実施機関 / Support Institute

広島大学 / Hiroshima Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

リソグラフィ/Lithography

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

田畑 美幸

所属名 / Affiliation

東京農工大学学院工学研究院生物システム応用科学府

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

三島理史　田部井哲夫

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

山田真司

利用形態 / Support Type

（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

RO-111： 超高精度電子ビーム描画装置
RO-121：スピンコータ
RO-601：ダイサー

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

バイオセンサの典型的な検出法は蛍光ラベリングを利用した光学検出である。これらのデバイスが高感度検出を実現している一方で、蛍光ラベル化剤を用いない電気的/電気化学的バイオセンシングもシステム全体の小型化を実現するという利点から注目されている。本研究は生体分子のデジタルカウンティングを見据え、単一解析可能なシリコンナノワイヤ電界効果トランジスタ（SiNW-FET）を開発することを目的としており、ウェットな環境で安定動作するナノワイヤトランジスタを作製することを目指している。スマートフォンに代表されるモバイルデバイスへの搭載が容易であり、いつでも、どこでも、誰にでも測定可能なナノトランジスタの創製を試みることにより、工学の分野から将来のPrecision medicineにおける技術革新を支える一端を担う。

実験 / Experimental

超高精度電子ビーム描画装置 (エリオニクス，ELS-G100)で保護膜の微細加工を行った。その後、ダイサー ( DISCO, DAD322 )でチップの切り出しを行った。

結果と考察 / Results and Discussion

今年度は、昨年度までに作製が完了しているナノワイヤトランジスタの層間絶縁膜上にポジ型レジストZEP520Aを保護膜として堆積し、電子ビーム露光と現像を行なった。その後、ウエハをダイサーで切断することにより９つのチップを切り出した。図１はその際のチップ切り出しパターンの簡略図である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１ ウエハからチップを切り出す際のパターンの概略図

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件