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ダイサー
設備ID
RO-601
分類
組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称
ダイサー (Dicing Saw)
設置機関
広島大学
設置場所
西棟1F
メーカー名
ディスコ (DISCO Corporation)
型番
DAD322
キーワード
最大6インチまで対応可。
仕様・特徴
Si, SiO
2
, SiCウェハ等のダイシング用。
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