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ダイサー

設備ID RO-601
分類 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称 ダイサー (Dicing Saw)
設置機関 広島大学
設置場所 西棟1F
メーカー名 ディスコ (DISCO Corporation)
型番 DAD322
キーワード 最大6インチまで対応可。
仕様・特徴 Si, SiO2, SiCウェハ等のダイシング用。
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