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新規登録設備
設備検索に令和6年度新規登録設備を追加しました。【2月度利用開始の設備】
新規登録設備
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設備検索に令和6年度新規登録設備を追加しました。【2月度利用開始の設備】
設置機関：産業技術総合研究所（AIST）
AT-119 マスクレス露光装置［MLA150］
設置機関：物質・材料研究機構（NIMS）
NM-668 蒸気二流体洗浄リフトオフ装置 [SSM101]
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【更新日】
2025/02/21
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