【優秀技術賞】
「マルチマテリアルのためのプロセスインテグレーション」
岸村 眞治（微細加工PF 京都大学）
【技術支援貢献賞】
「XPS、AESを用いた微細構造解析支援」
鈴木 啓太（微細構造解析PF 北海道大学）
「産総研で開発した装置による技術支援」
石塚 知明（微細構造解析PF 産業技術総合研究所）
「より良きXRD測定のための技術支援」
府川 和弘（微細構造解析PF 東京大学）
「原子層堆積装置による研究支援」
山崎 将嗣（微細加工PF 産業技術総合研究所）
「質量分析装置群を利用した技術支援」
西川 嘉子（分子・物質合成PF 奈良先端科学技術大学院大学）
【若手技術奨励賞】
「走査型電子顕微鏡を中心とした技術支援」
林 育生（分子・物質合成PF 名古屋大学）
nano tech 2022 展示ポスター
2022年1月26日 東京ビッグサイトで開催された第21回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に於いて、ナノテクノロジープラットフォーム事業 令和3年度「技術スタッフ表彰」の発表と表彰が行われた．
(1) マルチマテリアルのためのプロセスインテグレーション
(2) XPS、AESを用いた微細構造解析支援
(3) 産総研で開発した装置による技術支援
(4) より良きXRD測定のための技術支援
(5) 原子層堆積装置による研究支援
(6) 質量分析装置群を利用した技術支援
(7) 走査型電子顕微鏡を中心とした技術支援
※画像をクリックすると、展示ポスターPDFがダウンロードできます。
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Webマガジン
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