【技術支援者賞】
「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」
森山 雅昭（東北大学ナノテク融合技術支援センター 試作コインランドリ）
発表と表彰
2015年1月30日 東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム（JAPAN NANO 2015）に於いて、ナノテクノロジープラットフォーム事業 平成26年度「技術支援者賞」の発表と表彰が行われた。
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(1) シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御
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