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ブラシスクラバ

    ブラシスクラバ
    ブラシスクラバ
機器ID TU-009
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
組立・パッケージング > 研磨(化学、機械)
装置名称 ブラシスクラバ (Brush scrubber)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名 全協化成 (Zenkyo)
型番 特注
キーワード 研磨後のウェハ洗浄
仕様・特徴 サンプルサイズ:20mm角~6インチ
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