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ブラシスクラバ
設備ID
TU-009
分類
表面処理・洗浄 > ウェット処理
組立・パッケージング > 研磨(化学、機械)
装置名称
ブラシスクラバ (Brush scrubber)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名
全協化成 (Zenkyo)
型番
特注
キーワード
研磨後のウェハ洗浄
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ
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