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4スピン乾燥機

設備ID	TU-005
分類	表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称	4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	SEMITOOL (SEMITOOL)
型番	PSC101
キーワード	4インチウェハのスピン乾燥
仕様・特徴	カセット式で1度に25枚まで処理可能

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