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4スピン乾燥機

    4スピン乾燥機
    4スピン乾燥機
機器ID TU-005
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 SEMITOOL (SEMITOOL)
型番 PSC101
キーワード 4インチウェハのスピン乾燥
仕様・特徴 カセット式で1度に25枚まで処理可能
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