グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置
設備ID | NI-106 |
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分類 | 成膜装置 > 成長炉(ダイヤモンド、CNT・グラフェン、ほか) |
装置名称 | グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 (Chemical Vapor Deposition System for Graphene and Carbon Nanotubes Growth) |
設置機関 | 名古屋工業大学 |
設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
メーカー名 | 自作 (Home-made) |
型番 | 自作 |
キーワード | 単層、多層のグラフェン、カーボンナノチューブ CNT・グラフェン成長/ Carbon nanotube and graphene growth |
仕様・特徴 | 基板サイズ:2cm角程度以下 |