特型表面ナノ構造形成装置
設備ID | NI-105 |
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分類 |
成膜装置 > スパッタリング(スパッタ) 成形装置 > その他 |
装置名称 | 特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System) |
設置機関 | 名古屋工業大学 |
設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
型番 | 特型 |
キーワード | ナノ材料、導電性材料、高分子材料、表面ナノ構造形成 スパッタリング(スパッタ)/ Sputtering |
仕様・特徴 | 基板サイズ:2インチφ程度以下。超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能、組成制御可能、高分子材料の加工可能。 |