中規模カーボンナノファイバー室温合成装置
| 設備ID | NI-104 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 合成設備 > その他 膜加工・エッチング > その他 |
| 装置名称 | 中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 (Room-Temperature Carbon Nanofiber Growth System (for Medium Sized Samples)) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | 自作 (Home-made) |
| 型番 | 自作 |
| キーワード | カーボンナノファイバー(CNF)室温合成、ナノ突起群の室温合成、炭素系複合材料の合成 スパッタリング（スパッタ）/ Sputtering |
| 仕様・特徴 | カーボンナノファイバー(CNF)室温合成速度：10 nm/min程度以上。 試料サイズ：1インチ角程度以下。 |
