真空蒸着装置群
設備ID | NI-103 |
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分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
装置名称 | 真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment) |
設置機関 | 名古屋工業大学 |
設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
メーカー名 | シンク/MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./MBRAUN) |
型番 | JIS-300AK/DBO-1KP-0 |
キーワード | 金属基板作製 蒸着(抵抗加熱、電子線)/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
仕様・特徴 | ●真空蒸着装置(JIS-300AK) マイカ基板サイズ:15×15mm(標準) マイカ厚み:0.1~0.15mm 金膜厚:100〜150nm ●グローブボックス(DBO-1KP-0) Ar下における少量のサンプル調整(合成)が可能、電子天秤あり |