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飛行時間型二次イオン質量分析装置

設備ID NI-011
分類 質量分析 > 飛行時間質量分析
表面分析(深さ方向元素分析を含む) > 二次イオン質量分析 (SIMS)(TOF,磁場など)
装置名称 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer)
設置機関 名古屋工業大学
設置場所 名古屋工業大学御器所キャンパス
メーカー名 アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番 PHI TRIFTV nano TOF
キーワード 元素分析、化学構造情報
高分子材料、有機物、半導体、金属
仕様・特徴 質量分解能:9000M/Δm以上
スペクトル測定およびマッピング、深さ分析
サンプルの大気非暴露測定可
    飛行時間型二次イオン質量分析装置
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