飛行時間型二次イオン質量分析装置
| 設備ID | NI-011 |
|---|---|
| 分類 |
質量分析 > 飛行時間質量分析 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 二次イオン質量分析 （SIMS）(TOF,磁場など） |
| 装置名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | PHI TRIFTV nano TOF |
| キーワード | 元素分析、化学構造情報 高分子材料、有機物、半導体、金属 二次イオン質量分析（SIMS）(TOF、磁場など）/ Secondary ion mass spectrometry 飛行時間質量分析/ Time-of-flight mass spectrometry |
| 仕様・特徴 | 質量分解能：9000M/Δm以上 スペクトル測定およびマッピング、深さ分析 サンプルの大気非暴露測定可 |
