白色共焦点顕微鏡
設備ID | NI-003 |
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分類 | 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
装置名称 | 白色共焦点顕微鏡 (Laser Confocal microscope) |
設置機関 | 名古屋工業大学 |
設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
メーカー名 | レーザーテック (Lasertec Corporation) |
型番 | OPTELICS HYBRID C3 |
キーワード | 形状計測 |
仕様・特徴 | 白色光源および6波長選択機能 高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定(JI S、ISO対応)、3D表示 1μm~nmの透明膜の膜厚測定 室温~1000℃の高温加熱ステージ(真空、不活性ガス、大気中での測定) |