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白色共焦点顕微鏡

設備ID NI-003
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
装置名称 白色共焦点顕微鏡 (Laser Confocal microscope)
設置機関 名古屋工業大学
設置場所 名古屋工業大学御器所キャンパス
メーカー名 レーザーテック (Lasertec Corporation)
型番 OPTELICS HYBRID C3
キーワード 形状計測
仕様・特徴 白色光源および6波長選択機能
高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定(JI S、ISO対応)、3D表示
1μm~nmの透明膜の膜厚測定
室温~1000℃の高温加熱ステージ(真空、不活性ガス、大気中での測定)
    白色共焦点顕微鏡
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