特型走査電子顕微鏡装置
| 設備ID | NI-002 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 機械特性 > その他 デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 特型走査電子顕微鏡装置 (Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM5600＋特型試料ステージ |
| キーワード | ナノ材料、形状計測、電気特性評価、機械特性評価 |
| 仕様・特徴 | WフィラメントSEM。ピエゾ駆動探針装備。電気・機械特性測定、その場抵抗加熱可能。 |
