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原子分解能分析電子顕微鏡群

設備ID NI-001
分類 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡
微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製)
微小加工装置 > その他
装置名称 原子分解能分析電子顕微鏡群 (Atomic-Resolution Analytical Electron Microscope)
設置機関 名古屋工業大学
設置場所 名古屋工業大学御器所キャンパス
メーカー名 日本電子/ガタン (JEOL/Gatan, Inc./Gatan, Inc.)
型番 JEM-ARM200F/PIPS II/Model 656
キーワード ナノ材料、セラミックス、金属、複合材料、構造評価、組織観察、組成分析、状態分析
仕様・特徴 ●走査透過電子顕微鏡(JEM-ARM200F)
加速電圧:80kV・200kV,電子銃:冷陰極電界放出型
EDS、EELS、デジタルCCDカメラシステム付設
●イオンミリング装置(PIPS II)
高精度で無機化合物、金属、複合材料などをAr+イオンにより研磨できる。イオン銃加速電圧:0.1~7kV 冷却ステージあり
●ディンプルグラインダー(Model 656)
イオンミリングの前処理として固体板状試料に3mmΦ以下のくぼみをつけることができる。
    原子分解能分析電子顕微鏡群
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