液体窒素プローバー [SB-LN2]
| 設備ID | NM-631 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 液体窒素プローバー [SB-LN2] (Liquid N2 Prober [SB-LN2]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ (Thermal Block,Kiethley Instruments) |
| 型番 | SB-LN2PS，4200-SCS |
| キーワード | 電気伝導、プローバー、半パラ、I-V、C-V、デバイス、低温、高温 |
| 仕様・特徴 | ・用途：77K台から500KまでのI-V特性評価 ・試料冷却方式：液体窒素 ・プローブ：SMAプローブ ・マニピュレータ：4基 ・I-V測定端：4ユニット ・最大試料サイズ：20mm角 ・その他：77Kから500Kまで任意に温度設定可 |
![液体窒素プローバー [SB-LN2]](data/facility_item/NM-631.jpg)