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室温プローバーシステム

    室温プローバーシステム
    室温プローバーシステム
機器ID NM-630
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 室温プローバーシステム (Room Temp. Prober)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
型番 MX-200/B,B1500A
キーワード 電気伝導、プローバー、半パラ、I-V、C-V、デバイス
仕様・特徴 ・用途:I-V/C-V特性評価
・プローブ:同軸プローブ
・マニピュレータ:4基
・I-V測定端子:4ユニット
・C-V測定端子:1ユニット
・最大試料サイズ:φ4inch
・その他:試料ステージ電圧印加可,除振台/シールドボックス装備
機関代表メールアドレス ARIM_info=nanonet.go.jp ([=]を[@]にしてください)
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