原子分解能走査透過型電子顕微鏡
| 設備ID | JI-008 |
|---|---|
| 分類 | 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 原子分解能走査透過型電子顕微鏡 (STEM) |
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST） |
| 設置場所 | JAISTナノマテリアルテクノロジーセンター |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JEM-ARM200F |
| キーワード | 構造観察 原子分解能 元素分析 電子回折 透過型電子顕微鏡 走査型透過電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 加速電圧：200 kV 電子銃 ショットキー型電界放出銃 分解能： 0.08 nm（走査透過像） 0.19 nm（透過顕微鏡 粒子像） 0.10 nm（透過顕微鏡 格子像） EDS、EELSによる組成分析機能付 照射系収差補正装置：組み込み UHR仕様 |
