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触針式プロファイラ

    触針式プロファイラ
    触針式プロファイラ
機器ID NM-626
分類 その他分析装置 > 段差計
装置名称 触針式プロファイラ (Stylus Profiler)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 ブルカージャパン (Bruker)
型番 Dektak XT-A
キーワード 触針式、段差、粗さ、ストレス、マッピング、計測、測定
仕様・特徴 ・用途:段差測定
・分解能:1Å(6.5umレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・最大試料サイズ:φ8inch
・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
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