触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
| 設備ID | NM-626 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 触針式プロファイラー [Dektak XT-A] (Surface Profilometer [Dektak XT-A]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | ブルカージャパン (Bruker) |
| 型番 | Dektak XT-A |
| キーワード | 触針式、段差、粗さ、ストレス、マッピング、計測、測定、段差計/ Step meter |
| 仕様・特徴 | ・用途：段差測定 ・分解能：1Å（6.5umレンジ） ・走査距離：55mm ・触圧範囲：0.03-15mg ・最大試料サイズ：φ8inch ・ その他：自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定 |
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A]](data/facility_item/NM-626.jpg)