触針式段差計
設備ID | IT-024 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
装置名称 | 触針式段差計 (Contact surface profiler) |
設置機関 | 東京工業大学 |
設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
メーカー名 | KLA テンコール (KLA Tencor) |
型番 | P-7 |
キーワード | 表面段差観察 |
仕様・特徴 | Φ150mm電動ステージ > 長距離測定(最大150mm) 垂直測定レンジ(最大)327μm 垂直測定分解能(最高)0.001nm 段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料) 針圧範囲 0.5~50mg |