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触針式段差計

設備ID IT-024
分類 膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称 触針式段差計 (Contact surface profiler)
設置機関 東京工業大学
設置場所 東工大大岡山キャンパス
メーカー名 KLA テンコール (KLA Tencor)
型番 P-7
キーワード 表面段差観察
仕様・特徴 Φ150mm電動ステージ > 長距離測定(最大150mm) 垂直測定レンジ(最大)327μm 垂直測定分解能(最高)0.001nm 段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料) 針圧範囲 0.5~50mg
    触針式段差計
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