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走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

設備ID NM-622
分類 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡
装置名称 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
型番 Jupiter XR
キーワード SPM、AFM、MFM、粘弾性、KPFM、ESM、EFM、LFM
仕様・特徴 ・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch
    走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
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