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デバイス容量評価装置

設備ID AT-052
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 ケースレー アジレント (Keithley Agilent)
型番 Model 82-WIN, 4284A LCRメータ
キーワード 静電容量
電気的特性
C-V
LCR
仕様・特徴 ・型式:Model 82-WIN(ケースレー社製), 4284A LCRメータ(アジレントテクノロジーズ社製)
・試料サイズ:2インチ
・Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V(100kHz or 1MHz)の同時特性評価
・4284A LCRメータ:低周波20Hz~高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価
    デバイス容量評価装置
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