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デバイスパラメータ評価装置

設備ID AT-051
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 アジレントテクノロジー (Agilent)
型番 4156C
キーワード デバイス特性
電気特性
デバイスパラメータ
半導体パラメータ
仕様・特徴 ・型式:4156C
・試料サイズ:150φ×10mm以下
・最小電流レンジと測定分解能:±10 pAレンジ(電圧 0~±100 V)⇒ 1 fA
・最大電流レンジと測定分解能:±100 mAレンジ(電圧 0~±20 V)⇒ 100 nA
・最小電圧レンジと測定分解能:±2 Vレンジ(電流 0~±100 mA)⇒ 2 µV
・最大電圧レンジと測定分解能:±100 Vレンジ(電流 0~±20 mA)⇒ 100 µV
    デバイスパラメータ評価装置
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