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四探針プローブ抵抗測定装置

設備ID AT-050
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 四探針プローブ抵抗測定装置 (Four Point Probe Resistance Measurement System)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 ケースレーインスツルメンツ (Keithley Instruments)
型番 K-89PS40μR, K-89PS150μR
キーワード プローバ
4探針抵抗測定
電気特性評価
シート抵抗
仕様・特徴 ・型式:K-89PS40μR, K-89PS150μR
・試料サイズ: 4インチ□
・プローブ材質:タングステンカーバイト
・針間:1mm
・プローブ径:40μm, 150μm
・針圧:約800g, 約200g
・ステージZ軸移動:40mm(ラックピニオン式)
・針圧調整:ウエイト加減方式
・デジタルソースメータ(抜粋)
最大印加電圧 ±210V, 電流 ±1.05A(MAX 21V), ±1.05mA(MAX 210V)
最小設定分解能 5μV(200mVレンジ), 50 pA(1μAレンジ)
    四探針プローブ抵抗測定装置
    四探針プローブ抵抗測定装置
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