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ナノプローバ[N-6000SS]

設備ID AT-049
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 N-6000SS
キーワード 冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
ナノプローブ
一次元ナノワイヤー
グラフェン
CNT
CNTバンドル
仕様・特徴 ・型式:N-6000SS
・試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下
・試料ステージ:加熱・冷却機能付
・可動範囲:15mm×15mm以上
・付加機能:EBAC(Electron Beam Absorbed Current)
プローブユニット
・ユニット数:6本(探針数)
・駆動方式:ピエゾ素子使用
・微動範囲:5μm(X,Y軸)
・粗動範囲:5mm(X,Y軸)
電子光学系
・電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡
・加速電圧:0.5~5kV (※EBACモード:最大30kV)
・イメージシフト:±100μm以上(2kV、WD=15mm)
デバイスアナライザ
・型式:B1500(Agilent製)
・モジュール:B1520A MFCMU [1KHz~5MHz CV機能]
B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5μV電流/電圧測定分解能]
    ナノプローバ[N-6000SS]
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